自然環境中基本不存在超純水。一般來說，它只出現在實驗室中。超純水電阻率達到18歐姆。顧名思義，超純水除了水分子，幾乎沒有雜質，沒有細菌和病毒等有機物質，也沒有人體所需的礦物質和微量元素。可以說它是基本只有氧原子和氫原子的水。

　　超純水是現代工業中非常重要的原材料。廣泛應用于半導體、微電子、電力、化工、醫藥等領域。目前，反滲透膜技術生產超純水的工藝已經非常成熟。反滲透膜能有效降低水的電導率和水中總溶解固體的含量。大部分鹽組分的去除率均在95%以上，且水通量大。雖然膜污染也會發生，但通過化學清洗可以有效地解決。

　　此外，隨著純水制備工藝的不斷進步，傳統的陰陽離子交換工藝逐漸被反滲透系統所取代，而傳統的混合離子交換逐漸被電去離子EDI裝置所取代。反滲透+EDI強強聯合制備超純水。與傳統方法相比，該系統具有出水水質高、連續生產、使用方便等優點。它具有無人值守、無酸堿、無環境污染、占地面積小、運行經濟等一系列優點。它被稱為“綠色”海水淡化系統。

　　通過控制反滲透階段，可以制備不同純度的脫鹽水。隨著反滲透級的增加，脫鹽水的純度增加，但產水量降低，水的利用率降低。因此，反滲透裝置的綜合使用一般不超過二級。一般來說，反滲透與EDI的結合不僅克服了反滲透出水不能完全脫鹽的不足，而且改善了電去離子裝置的進水水質，防止了電去離子設備的損壞，提高了整體凈水效果。